LineGauge 上下线宽量测机
效益 :
  • 简单且聪明的蚀刻参数量测问题的解决方案。
  • 具高再现度与重复度的线宽量测结果。
  • 只需5分钟，便可完全学会操作使用。
其他说明：
  • 过去是使用50或100倍放大镜来测量导体线宽，但即使是有经验的检测员也得耗费长久的时间，并且经过短时间的检测后，这些检测员的眼晴易感到疲累。更糟的是，不同的检测员会有不同的检测结果。 LineGauge 藉由提供高品质光学测量来大幅改善线宽量测问题，提供高水准的量测方式，以提升检测产工程系。
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