LineGauge 上下線寬量測機
效益 :
  • 簡單且聰明的蝕刻參數量測問題的解決方案。
  • 具高再現度與重複度的線寬量測結果。
  • 只需5分鐘，便可完全學會操作使用。
概要 :
  • 過去是使用50 或100 倍放大鏡來測量導體線寬，但即使是有經驗的檢測員也得耗費長久的時間，並且經過短時間的檢測後，這些檢測員的眼晴易感到疲累。更糟的是，不同的檢測員會有不同的檢測結果。 LineGauge 藉由提供高品質光學測量來大幅改善線寬量測問題，提供高水準的量測方式，以提昇檢測產能。
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