晶圓外觀檢查機簡介
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外物 |
汙染 |
刮傷 |
缺損 |
碎裂 |
Wafer AVI是一套精心研發設計的自動外觀檢查系統，整合光學及視覺專業技術，提供完善的解決方案，其穩定的模組化機構大幅縮減後勤維護時間，非常適合高品質低成本的檢測需求。
專利多角度LED光源，可獲得最佳瑕疵影像，廣泛應用於各式晶圓問題之檢測。獨特的檢測技術適用於晶圓製程，可有效檢測切割碎裂、bump / pad刮傷、異色、遺失、偏移、變形及外物等等。系統可與離線複檢站搭配使用，提升檢測產能。
＞導引式操作介面，縮短人員訓練時程並加速導入生產。
＞快速建立生產料號，節省等待時間，迅速進入生產狀態。
＞離線複檢與生產可同時進行，達到最大經濟效益。
＞提供完整軟體技術支援及服務。
＞LED光源穩定度高、壽命長，減少維修成本及工時。
＞直覺式參數操作介面，減少重複嘗試次數，大幅減少設定時間。
＞8吋、12吋換線最便捷，不需更換或調整任何硬體。
